[发明专利]指纹识别模组及其制造方法、电子设备在审
| 申请号： | 201911013297.4 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112115755A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 石虎;刘孟彬 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;H01L41/313 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备，制造方法包括：提供衬底，衬底中形成有信号处理电路；在衬底上形成第一氧化层；提供承载基底；在承载基底上形成压电换能器，压电换能器包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极；在压电换能器上形成具有空腔的第二氧化层，空腔至少露出第二电极；通过第二氧化层和第一氧化层，采用熔融键合工艺实现承载基底和衬底的键合；去除承载基底。所述方法无需形成用于占据空腔位置的牺牲层，相应无需进行牺牲层释放的操作，以免出现在空腔中形成牺牲层残留物的问题，且通过熔融键合工艺使承载基底和衬底实现键合，提高了键合可靠性；综上，提高了指纹识别模组的指纹识别性能。 | ||
| 搜索关键词： | 指纹识别 模组 及其 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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