[发明专利]一种热辅助的飞秒激光加工方法在审
| 申请号： | 201911008973.9 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110732789A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张帆;赵于前;段吉安 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/064;B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种热辅助飞秒激光加工的方法，属于光学技术领域。该方法利用温控系统对材料预热，精确控制材料的温度，随后将聚焦后的飞秒激光作用于预热的材料，进而高效的加工样品。本发明属于实时在位热辅助方式。在飞秒激光烧蚀材料的同时，温度可调的均匀预热样品材料，从而使材料在高于常温的条件下被加工，更加有利于飞秒激光烧蚀样品。该方法对金属、半导体和绝缘体均有效，经过上述方法加工之后的样品均匀性好，低功率密度的飞秒激光仍然可以高效加工材料，使在样品表面烧蚀出的微孔具有更大的深度。该方法在激光制造领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 飞秒激光 热辅助 预热 烧蚀 绝缘体 加工 飞秒激光加工 光学技术领域 样品均匀性 高效加工 激光制造 控制材料 烧蚀材料 温度可调 温控系统 样品表面 样品材料 低功率 预热的 微孔 在位 半导体 聚焦 金属 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于飞秒激光的热辅助加工方法，其特征在于具体步骤为：将温控系统固定在三维平台上，利用温控系统对材料进行预热，然后在加热平台上固定样品；飞秒激光通过物镜聚焦后，对预热的样品进行加工；温控系统可以精确控制样品的预热温度，通过程序控制三维平台的位置，从而在样品上加工出所需要的结构；其中，预热可以对样品进行改性，使改性区域声子振动加剧，从而能更加有效的捕捉光子，实现激光与物质更加剧烈的相互作用；宏观上从样品表面加工出的微孔深度可以表现出，随着预热温度的升高，微孔的深度是逐渐变大的。/n
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