[发明专利]一种热辅助的飞秒激光加工方法

权利要求书

1.一种基于飞秒激光的热辅助加工方法，其特征在于具体步骤为：将温控系统固定在三维平台上，利用温控系统对材料进行预热，然后在加热平台上固定样品；飞秒激光通过物镜聚焦后，对预热的样品进行加工；温控系统可以精确控制样品的预热温度，通过程序控制三维平台的位置，从而在样品上加工出所需要的结构；其中，预热可以对样品进行改性，使改性区域声子振动加剧，从而能更加有效的捕捉光子，实现激光与物质更加剧烈的相互作用；宏观上从样品表面加工出的微孔深度可以表现出，随着预热温度的升高，微孔的深度是逐渐变大的。

2.如权利1所述的方法，其特征在于：预热的温度可以由温控系统控制，温度的改变从室温至300℃，精度可以达到0.1℃。

3.如权利1所述的方法，其特征在于：所使用的样品材料为PMMA，但该方法不仅仅只局限于PMMA材料，还可以应用到其他熔点小于300℃的样品材料。

4.如权利1所述的方法，其特征在于：飞秒激光通过10倍物镜聚焦后实现表面材料的去除，但不仅仅局限于物镜聚焦，该方法还包括使用透镜聚焦和飞秒激光一直辐照加工。

5.如权利1所述的方法，其特征在于：样品表面加工出的是微孔结构，其深度是随预热温度的升高而增大的，但不仅仅只限制于微孔结构，还包括沟槽结构。

6.如权利1所述的方法，其特征在于：设置的入射飞秒激光能量为10毫瓦，脉冲数为100个。