[发明专利]工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法有效
| 申请号： | 201911005263.0 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN110672624B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 崔忠伟 | 申请（专利权）人： | 北京领邦智能装备股份公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 彭星 |
| 地址： | 100000 北京市海淀区永*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法，涉及工件缺陷检测技术领域。工件侧面成像系统，包括：载物台、超远心镜头及点光源；其中超远心镜头位于载物台的一侧；点光源位于载物台的另一侧，且与超远心镜头中心线的第一距离在5mm～100mm范围内。该工件侧面成像系统，以点光源替换常规的普通环性光源或板光源，结合超远心镜头，在为工件侧面成像时，可以显著提升工件侧面图像的清晰度，进而有效提升工件侧面缺陷检测的准确率。尤其对微小缺陷检测的效果尤为明显。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 侧面 成像 系统 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种工件侧面成像系统，其特征在于，包括：/n载物台；/n超远心镜头，位于所述载物台的一侧；/n点光源，位于所述载物台的另一侧，且与所述超远心镜头中心线的第一距离在5mm～100mm范围内。/n
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