[发明专利]工件侧面成像系统、缺陷检测系统及工件侧面成像方法

权利要求书

1.一种工件侧面成像系统，其特征在于，包括：

载物台；

超远心镜头，位于所述载物台的一侧；

点光源，位于所述载物台的另一侧，且与所述超远心镜头中心线的第一距离在5mm～100mm范围内。

2.根据权利要求1所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述点光源和所述超远心镜头下表面所在平面的第一垂直距离，与所述超远心镜头的负心和所述超远心镜头下表面所在平面的第二垂直距离之差的绝对值，小于所述第二垂直距离的30％，所述负心为所述超远心镜头的聚焦点。

3.根据权利要求1所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述点光源和所述超远心镜头下表面所在平面的第一垂直距离，与所述超远心镜头的负心和所述超远心镜头下表面所在平面的第二垂直距离之差的绝对值，小于30mm，所述负心为所述超远心镜头的聚焦点。

4.根据权利要求1所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述点光源和所述超远心镜头下表面所在平面的垂直距离在70mm～130mm范围之内。

5.根据权利要求1所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述第一距离为所述超远心镜头的视野半径的0.5～2倍。

6.根据权利要求1所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述点光源和待测工件需成像侧面位置的连线，与经过所述点光源、且与所述超远心镜头的中心线平行的直线之间的夹角在10度～30度范围内。

7.根据权利要求6所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述夹角在14度～24度范围之内。

8.根据权利要求1所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述第一距离为待测工件需成像侧面位置与所述中心线之间的距离的1.5～2.5倍。

9.根据权利要求1-8任一项所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述点光源包括多个色块；其中，各色块的形状相对所述点光源的几何中心为非对称的。

10.根据权利要求9所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述点光源包括两个色块，所述两个色块并列排布。

11.根据权利要求9所述的工件侧面成像系统，其特征在于，所述点光源包括三个色块，所述三个色块呈Y形排布。

12.一种工件缺陷检测系统，其特征在于，包括：根据权利要求1-11任一项所述的工件侧面成像系统。

13.一种用于工件侧面成像的方法，应用于包含超远心镜头的工件侧面成像系统中，其特征在于，包括：

获取待测工件需成像侧面位置；以及

根据所述待测工件需成像侧面位置与所述超远心镜头的位置，确定所述工件侧面成像系统中点光源的位置；

其中，所述超远心镜头位于所述工件侧面成像系统中承载所述待测工件的载物台的一侧，所述点光源位于所述载物台的另一侧，且与所述超远心镜头中心线的第一距离在5mm～100mm范围内。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，还包括：

将所述点光源移动至确定出的所述点光源的位置。

15.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述点光源为点光源阵列，所述方法还包括：

点亮所述点光源阵列中对应所述点光源的位置的点光源。

16.根据权利要求13～15任一项所述的方法，其特征在于，根据所述待测工件需成像侧面位置与所述超远心镜头的位置，确定所述工件侧面成像系统中点光源的位置包括：

确定所述点光源的位置和待测工件需成像侧面位置的连线，与经过所述点光源、且与所述超远心镜头的中心线平行的直线之间的夹角在10度～30度范围内。