[发明专利]一种研磨机下盘和研磨机在审
申请号: | 201910992726.0 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN110774162A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 韩文光;丁爱民 | 申请(专利权)人: | 天津布莱德尔机床有限公司 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;B24B37/27;B24B37/34 |
代理公司: | 11635 北京思格颂知识产权代理有限公司 | 代理人: | 潘珺;杨超 |
地址: | 300385 天津市西*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种研磨机下盘和研磨机,其中,该研磨机下盘包括下磨盘、下盘内环和驱动下磨盘、下盘内环的双电机,所述双电机分别与下磨盘和下盘内环连接;其特征在于,所述下盘还包括:下盘外环、夹持所述下盘外环的支撑机构以及驱动所述下盘外环旋转的辅助动力机构;所述下盘外环嵌套在所述下磨盘外边缘,且所述下磨盘、所述下盘内环和所述下盘外环之间可分别相对旋转。在进行研磨时,能够使得放置在下盘内环和下盘外环之间的载盘能够在下盘内环和下盘外环的驱动下自转,不仅能够保证被研磨工件之间的精度,同时避免了现有技术中载盘内侧和外侧受力不均匀容易发生扭曲变形的现象,保证了研磨机的正常运转。 | ||
搜索关键词: | 下盘 内环 下磨盘 研磨机 双电机 驱动 载盘 辅助动力机构 嵌套 扭曲变形 相对旋转 研磨工件 支撑机构 研磨 不均匀 外边缘 自转 夹持 受力 保证 | ||
【主权项】:
1.一种研磨机下盘,包括下磨盘(11)、下盘内环(12)和驱动所述下磨盘(11)、所述下盘内环(12)的双电机(2);其特征在于,所述研磨机下盘还包括:下盘外环(13)、夹持所述下盘外环(13)的支撑机构(14)以及驱动所述下盘外环(13)旋转的辅助动力机构(15);/n所述下盘外环(13)嵌套在所述下磨盘(11)外边缘,且所述下磨盘(11)、所述下盘内环(12)和所述下盘外环(13)之间可分别相对旋转。/n
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