[发明专利]一种研磨机下盘和研磨机

说明书

本发明公开了一种研磨机下盘和研磨机，其中，该研磨机下盘包括下磨盘、下盘内环和驱动下磨盘、下盘内环的双电机，所述双电机分别与下磨盘和下盘内环连接；其特征在于，所述下盘还包括：下盘外环、夹持所述下盘外环的支撑机构以及驱动所述下盘外环旋转的辅助动力机构；所述下盘外环嵌套在所述下磨盘外边缘，且所述下磨盘、所述下盘内环和所述下盘外环之间可分别相对旋转。在进行研磨时，能够使得放置在下盘内环和下盘外环之间的载盘能够在下盘内环和下盘外环的驱动下自转，不仅能够保证被研磨工件之间的精度，同时避免了现有技术中载盘内侧和外侧受力不均匀容易发生扭曲变形的现象，保证了研磨机的正常运转。

技术领域

本发明涉及工件机械加工领域，特别涉及一种研磨机下盘和研磨机。

背景技术

在工件加工领域，研磨机的应用十分广泛，尤其是汽车零部件、高精度轴承、刃具量具、制冷压缩机零部件、电子元器件等工件加工领域。研磨机在应用时，需要将被研磨工件放置在载盘中，由于现有的电子元器件(例如手机摄像头、内置芯片等)厚度只有几个毫米，所以在对上述电子元器件进行研磨时需要应用很薄的载盘，而且载盘的厚度需要略小于被研磨电子元器件的厚度才能对被研磨工件进行研磨，常见的较薄的载盘厚度在2～10mm左右，而且由于载盘厚度很薄，一般的塑料材质的载盘很脆弱，需要使用金属载盘。

而现有的研磨机在工作时，内环带动载盘进行行星齿轮传动旋转，同时上下磨盘也进行旋转对被研磨工件进行研磨。由于需要保证各个被研磨工件之间的精度，研磨机的内环转速需要远大于上下磨盘的转速，而且外环在不进行旋转的情境下，内环与外环的相对速度会很大，极容易导致金属载盘发生扭曲变形，造成设备的损坏。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种研磨机下盘和研磨机。

第一方面，本发明实施例提供一种研磨机下盘，可以包括下磨盘11、下盘内环12和驱动所述下磨盘11、所述下盘内环12的双电机2；所述下盘1还包括：下盘外环13、夹持所述下盘外环13的支撑机构14以及驱动所述下盘外环13旋转的辅助动力机构15；

所述下盘外环13嵌套在所述下磨盘11外边缘，且所述下磨盘11、所述下盘内环12和所述下盘外环13之间可分别相对旋转。

可选的，所述支撑机构14可以包括：至少两个外环支撑部件141、第一伺服电机142和链条143；

所述至少两个外环支撑部件141共同夹持所述下盘外环13；

所述第一伺服电机142的输出端与所述至少两个外环支撑部件141中的至少一个连接，以驱动所连接的外环支撑部件141升降；

至少两个外环支撑部件141之间通过所述链条143连接，以使得连接有第一伺服电机142的外环支撑部件141和未连接第一伺服电机142的外环支撑部件141同步升降。

可选的，所述外环支撑部件141可以包括：夹持所述下盘外环的外环夹持部1411，连接在所述外环夹持部1411底部的升降部1412，连接在所述升降部 1412底部的第一链轮1413，所述至少两个支撑部件141中的至少一个第一链轮1413底部连接所述第一伺服电机142的输出端；

所述链条143与至少两个所述外环支撑部件141的第一链轮1413分别啮合。

可选的，所述外环夹持部1411可以包括：C形夹具支架1411a、万向球 1411b和凸轮轴承1411c；

所述万向球1411b在水平方向上分布在所述夹具支架1411a的内侧，所述下盘外环13的上端面与下端面分别与所述万向球1411b的球面抵接；

所述凸轮轴承1411c在竖直方向上连接在所述夹具支架1411a的内侧，所述下盘外环13与所述凸轮轴承1411c的外圈抵接。