[发明专利]掩膜版和显示面板及其制备方法在审
| 申请号： | 201910989534.4 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN110703489A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 廖辉华 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G03F1/54 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 李汉亮 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩膜版和显示面板及其制备方法，该掩模版包括沿第一方向依次设置的第一区域、第二区域以及第三区域，其中，第二区域的透光率大于第一区域的透光率，第二区域的透光率小于第三区域的透光率。本发明实施例区别于现有技术，掩模版分布有三种不同透光率区域，因此在利用掩模版制备色阻的过程中，由于第二区域透光率大于第一区域透光率，第二区域的透光率小于第三区域透光率，且第二区域对应不同色阻重叠区域，使得穿透第二区域的光线相较于穿透第一区域的光线强度较低，使得第二区域对应的色阻区域部分的膜层厚度降低，从而降低不同色阻重叠区域的突起，避免牛角的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 透光率 第二区域 第一区域 色阻 掩模版 重叠区域 制备 穿透 厚度降低 显示面板 依次设置 牛角 掩膜版 突起 膜层 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版，其特征在于，包括沿第一方向依次设置的第一区域、第二区域以及第三区域，其中，所述第二区域的透光率大于所述第一区域的透光率，所述第二区域的透光率小于所述第三区域的透光率。/n
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