[发明专利]激光装置用的电源装置在审

专利信息
申请号: 201910987814.1 申请日: 2019-10-17
公开(公告)号: CN111200354A 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 山口英正 申请(专利权)人: 住友重机械工业株式会社
主分类号: H02M1/32 分类号: H02M1/32;H02M7/5387;H02M5/16;H01S3/097
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种提高了可靠性的激光装置。高频电源(400)向包括一对放电电极(202、204)的电容的谐振电路(210)施加高频电压(VRF)。过电压抑制电路(500)抑制谐振电路(210)的两端之间的过电压。若异常检测器(600)检测到异常,则停止来自高频电源(400)的高频电压(VRF)的施加。
搜索关键词: 激光 装置 电源
【主权项】:
暂无信息
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