[发明专利]激光装置用的电源装置

权利要求书

1.一种电源装置，其驱动包括一对放电电极的激光谐振腔，所述电源装置的特征在于，具备：

高频电源，向包括所述一对放电电极的电容的谐振电路施加高频电压；

过电压抑制电路，抑制所述谐振电路的两端之间或者所述高频电源的内部节点的过电压；

开关，与所述过电压抑制电路串联连接；及

异常检测器，若检测到异常则使所述开关导通。

2.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，

所述激光谐振腔的壳体经由地线接地，

所述异常检测器根据流过所述地线的电流来检测所述异常。

3.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，

所述激光谐振腔的壳体经由地线接地，

所述异常检测器根据所述壳体的电位来检测所述异常。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电源装置，其特征在于，

还具备：若所述异常检测器检测到异常，则通知给外部的通知机构。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的电源装置，其特征在于，

所述高频电源包括：

逆变器；及

变压器，具有与所述逆变器的输出端连接的1次绕组及与所述激光谐振腔连接的2次绕组，

所述过电压抑制电路与所述变压器的1次绕组连接。