[发明专利]一种传送法拉第筒探头的伸缩装置

摘要

本发明公开了一种传送法拉第筒探头的伸缩装置，包括波纹管、固定腔、连接杆、电机、丝杆、导向滑杆和法兰接口，波纹管、连接杆均与固定腔连接，连接杆在波纹管内部。连接杆的中空结构方便线缆和冷却管道引出，波纹管可以实现电机系统放置到真空环境外部，而丝杆和导向滑杆将法拉第筒限制为一维运动，电机的正反转可以实现法拉第筒探头的伸缩。本发明通过合理的结构设计，结构简单，体积较小，实现了电机系统外置，对于真空环境快速获取有较大改善，法拉第筒探头引出的线缆、冷却管道布局更加合理，整个装置易于组装、成本降低、便于维护。