[发明专利]一种传送法拉第筒探头的伸缩装置

权利要求书

1.一种传送法拉第筒探头的伸缩装置，其特征在于：

包括波纹管、固定腔、连接杆、电机、丝杆、导向滑杆和法兰接口，波纹管、连接杆均与固定腔连接，连接杆在波纹管内部；

所述的法兰接口有两个，第一法兰接口用于连接离子束腔体的接口，第二法兰接口用于实现波纹管与固定腔的连接；

所述的丝杆连接第一法兰接口、第二法兰接口、固定腔、固定板和丝杆齿轮，丝杆一端固定在第一法兰接口，丝杆另一端连接丝杆齿轮并且固定在固定板上，丝杆齿轮和丝杆同步旋转，固定腔沿丝杆做直线往返运动；

所述的电机和电机齿轮固定连接，并且电机齿轮带动丝杆齿轮转动；

所述的导向滑杆连接第一法兰接口、第二法兰接口、固定腔、固定板，导向滑杆的一端固定于第一法兰接口，另一端固定于固定板，导向滑杆与第二法兰接口、固定腔接触并且第二法兰接口、固定腔在导向滑杆上做往返运动；

所述的电机固定于固定板上；

所述的固定腔侧面有冷却循环孔，用于流通冷却介质；

所述的连接杆一端固定法拉第筒，另一端固定在固定腔。

2.根据权利要求1所述的传送法拉第筒探头的伸缩装置，其特征在于：

所述的丝杆齿轮固定于丝杆的一端，丝杆齿轮和丝杆不发生相对旋转；

所述的固定腔和丝杆通过螺纹咬合连接，并且固定腔沿着丝杆做直线运动；

所述的丝杆、导向滑杆保证固定腔在在直线运动中不发生旋转。

3.根据权利要求1所述的传送法拉第筒探头的伸缩装置，其特征在于：

所述的固定腔、第二法兰接口和导向滑杆接触面均是光滑的。

4.根据权利要求1所述的传送法拉第筒探头的伸缩装置，其特征在于：

所述的电机齿轮和丝杆齿轮通过齿轮咬合进行联动。

5.根据权利要求1所述的传送法拉第筒探头的伸缩装置，其特征在于：

所述的连接杆是中空结构，连接杆的内部分布线缆和冷却管道；

所述的连接杆靠近连接固定腔的一侧存在侧向开槽，冷却管道通过侧向开槽连接到固定腔的冷却循环孔上；

固定腔外表面固定有多针连接器，连接杆中引出的线缆连接到多针连接器上。

6.根据权利要求1所述的传送法拉第筒探头的伸缩装置，其特征在于：

所述的波纹管、固定腔、连接杆、丝杆、导向滑杆、固定板和法兰接口均采用金属和金属合金。

7.根据权利要求1所述的传送法拉第筒探头的伸缩装置，其特征在于：

所述的波纹管、固定腔、连接杆、丝杆、导向滑杆、固定板和法兰接口所用材料包括不锈钢316。