[发明专利]一种高精度高效率的硅片定向装置

摘要

本发明公开了一种高精度高效率的硅片定向装置，上部处于真空腔体，下部处于大气环境，主要包括安装框架、光源收发组件、运动密封组件、旋转运动组件和升降驱动组件，光源收发组件用于监测光感强度，运动密封组件固定在安装法兰上，保证真空环境，旋转运动组件由旋转电机经减速器减速后提供旋转动力，根据光感变化确定硅片的缺口，升降驱动组件由升降电机提供动力，带动整个旋转运动组件延直线导轨上升和下降，完成硅片的取放；本发明结构紧凑，升降高度可调，采用减速器配合旋转电机，与其他传动方式相比大大提高了定向精度，升降电机通过多头螺杆，带动旋转运动组件整体快速升降，减少取放硅片的时间，提升传片效率。