[发明专利]一种高精度高效率的硅片定向装置

权利要求书

1.一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述硅片定向装置包括安装框架(1)、光源收发组件(2)、运动密封组件(3)、旋转运动组件(4)、升降驱动组件(5)，所述光源收发组件(2)和所述运动密封组件(3)安装于所述安装框架(1)的上部，位于机台的真空腔体中，所述旋转运动组件(4)和升降驱动组件(5)置于所述安装框架(1)的下部，位于大气环境中。

2.根据权利要求1所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述光源收发组件(2)包括光源发射器(21)、光源接收器(22)和光源支架(23)，所述光源支架(23)固定于所述安装框架(1)的上部，所述光源发射器(21)和光源接收器(22)的光轴中心对齐后，相隔一定距离固定在光源支架(23)的安装槽内，光源可照射到硅片边缘。

3.根据权利要求1所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述运动密封组件(3)包括运动密封座(31)、上密封挡圈(32)、上密封垫环(33)、U型密封圈+隔环(34)和下密封挡圈(35)，所述运动密封座(31)固定于所述安装框架(1)上，所述U型密封圈+隔环(34)安装于所述运动密封座(31)的中心孔内，两个密封圈置于隔环的两侧，通过所述上密封垫环(33)和密封挡圈(32)限制竖直方向的向上运动，所述下密封挡圈(35)固定于所述运动密封座(31)，限制竖直方向的向下运动。

4.根据权利要求1所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述旋转运动组件(4)包括旋转执行机构(41)、联轴器(42)、旋转驱动机构(43)、固定架(44)和直线运动机构(45)，所述旋转执行机构(41)和旋转驱动机构(43)同轴安装固定于所述固定架(44)上，并通过所述联轴器(42)连接。

5.根据权利要求4所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述旋转执行机构(41)包括定向圆盘(411)、旋转轴(412)、轴承(413)、轴承套(414)、编码器法兰(415)和编码器(416)，所述固定架(44)包括旋转套固定板(441)、加强板(442)和旋转驱动固定板(443)，所述旋转轴(412)两端各穿入一个所述轴承(413)，所述轴承(413)同轴安装于所述轴承套(414)内腔，通过固定于所述轴承套(414)下方的所述编码器法兰(415)压紧，所述定向圆盘(411)安装于所述旋转轴(412)的顶端，所述编码器(416)安装于旋转轴(412)的底端，所述轴承套(414)穿过圆孔固定于旋转套固定板(441)，所述旋转驱动机构(43)固定于旋转驱动固定板(443)。

6.根据权利要求4所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述直线运动机构(45)包括导轨(451)和滑块(452)，所述导轨(451)固定于所述安装框架(1)，所述滑块(452)固定于所述固定架(44)。

7.根据权利要求1所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述升降驱动组件(5)包括升降板(51)、升降传动组件(52)、联轴器(53)、升降电机(54)和电机安装法兰(55)，所述升降传动组件(52)和升降电机(54)同轴安装，并通过所述联轴器(53)连接，所述电机安装法兰(55)安装于所述安装框架(1)。

8.根据权利要求7所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述升降板(51)包括消隙螺母(511)和升降法兰(512)，所述升降传动组件(52)包括螺杆(521)、锁紧螺母(522)、轴承挡圈(523)、轴承盖板(524)、轴承(525)和轴承座(526)，所述轴承盖板(524)压紧轴承外环，将所述轴承(525)固定在所述轴承座(526)内，所述螺杆(521)穿过所述轴承(525)，通过所述锁紧螺母(522)和轴承挡圈(523)与轴承内环压紧，所述消隙螺母(511)固定在所述升降法兰(512)上，与所述螺杆(521)套合，随所述螺杆(521)的旋转而升降。

9.根据权利要求1所述的一种高精度高效率的硅片定向装置，其特征在于：所述旋转套固定板(441)安装在所述升降法兰(511)上，带动所述旋转运动组件(4)整体完成升降运动。