[发明专利]一种铁电二端器件、三维铁电存储器件及制备方法在审
| 申请号： | 201910978822.X | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110867492A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 缪向水;王校杰;童浩 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L27/105;H01L21/8239 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人： | 雷霄 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铁电二端器件、三维铁电存储器件及制备方法。该铁电二端器件，包括：依次设置的第一金属电极层、铁电介质层和第二金属电极层；所述第一金属电极层与所述铁电介质层接触，形成肖特基势垒；所述第二金属电极层与所述铁电介质层接触，形成欧姆接触。采用这种结构的铁电二端器件具有利用势垒高度控制来进行阻值调控的优点，信息读取方式为非破坏性，且适用于高密度存储。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铁电二端 器件 三维 存储 制备 方法 | ||
【主权项】：
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