[发明专利]一种铁电薄膜的周期性条带畴结构的表征方法有效
| 申请号： | 201910977182.0 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110634871B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 翟俊杰;李忠文;南峰;李冠男;周舟;黄煜焱 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | H01L27/11507 | 分类号： | H01L27/11507 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张华蒙 |
| 地址： | 223005 江苏省淮安市洪泽区东七街三号高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种铁电薄膜的周期性条带畴结构及其表征方法，属于微纳表征技术领域，该方法包括以下步骤：脉冲激光沉积制备铁酸铋薄膜；通过X射线衍射仪表征其晶格常数，确定其为菱形相结构，利用压电蝴蝶曲线确认其铁电性良好和矫顽电压，通过原子力显微镜表征其形貌；运用矢量压电力显微镜表征纳米铁电薄膜中的周期性条带畴，采用精细的矢量压电力显微术分析方法确定其三维畴结构；使用导电原子力显微镜观测到条带畴的畴壁导电。通过本发明给出的铁电薄膜制备方法，可用于非挥发的、高密度的铁电随机存取存储器；同时，提供的表征方法能够准确给出周期性条带畴的三维畴结构及畴壁导电；为高密度的铁电存储器件开发及表征检测提供方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 周期性 条带 结构 表征 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铁电薄膜的周期性条带畴结构及其表征方法，其特征在于：包括如下步骤：/nS1：使用PLD方法制备BFO薄膜；/nS2：物相表征研究BFO薄膜的晶相、形貌和铁电性；/nS3：运用矢量压电力显微镜PFM对BFO薄膜表征，分析获得铁电条带畴的畴结构；/nS4：采用导电原子力显微镜CAFM对BFO薄膜表征，获得铁电条带畴的畴壁导电。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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