[发明专利]雾化冷却装置、自动化加工设备及方法在审
申请号: | 201910971661.1 | 申请日: | 2019-10-14 |
公开(公告)号: | CN110773341A | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 赖林松;周志伟;尹建刚;叶建春;颜传祥;陈锐;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | B05B7/02 | 分类号: | B05B7/02;B05B7/12;B05B15/40;F25D1/02;F25D29/00;H01L31/18 |
代理公司: | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘欣 |
地址: | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种雾化冷却装置、自动化加工设备及方法,一种雾化冷却装置包括雾化组件,包括喷嘴、进液管路、进气管路及喷头,外部水源通过进液管路与喷头连接,外部气源通过进气管路与喷头连接,喷嘴设于喷头以喷出水雾;气压控制组件设于进气管路;以及流量控制组件设于进液管路。一种自动化加工设备,包括:底座;两立柱,分别设于底座的两侧;横梁,设于两立柱之间;上述的雾化冷却装置,滑动设于横梁;以及载物台,滑动设于底座上。一种雾化冷却方法,包括以下步骤:外部液体输送至喷头,同时外部气源输送至喷头;通过控制外部液体的流量及外部气源的气压,使喷嘴喷出的水雾均匀。上述的雾化冷却装置、自动化加工设备及方法,冷却效果好。 | ||
搜索关键词: | 喷头 雾化冷却装置 自动化加工设备 进气管路 进液管路 外部气源 底座 滑动 喷嘴 横梁 立柱 水雾 流量控制组件 气压控制组件 冷却效果 外部水源 雾化冷却 雾化组件 液体输送 喷嘴喷 载物台 外部 喷出 气压 | ||
【主权项】:
1.一种雾化冷却装置,其特征在于,包括:/n雾化组件,包括喷嘴、进液管路、进气管路及喷头,所述进液管路与所述喷头连接,所述进气管路与所述喷头连接,所述喷嘴连接于所述喷头以喷出水雾;/n气压控制组件,设于所述进气管路,以用于控制气体压力;以及/n流量控制组件,设于所述进液管路,以用于控制液体流量。/n
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