[发明专利]雾化冷却装置、自动化加工设备及方法

权利要求书

1.一种雾化冷却装置，其特征在于，包括：

雾化组件，包括喷嘴、进液管路、进气管路及喷头，所述进液管路与所述喷头连接，所述进气管路与所述喷头连接，所述喷嘴连接于所述喷头以喷出水雾；

气压控制组件，设于所述进气管路，以用于控制气体压力；以及

流量控制组件，设于所述进液管路，以用于控制液体流量。

2.根据权利要求1所述的雾化冷却装置，其特征在于，所述气压控制组件包括电性连接的调压阀及压力传感器，所述压力传感器用于检测气体压力，所述调压阀能够根据所述压力传感器所检测的气体压力调整气体压力。

3.根据权利要求1所述的雾化冷却装置，其特征在于，所述流量控制组件包括电性连接的限流器及流量计，所述流量计用于检测液体流量，所述限流器能够根据所述流量计所检测的液体流量调节液体流量。

4.根据权利要求1所述的雾化冷却装置，其特征在于，还包括过滤器，设于所述进气管路靠近所述气源的一侧，以用于过滤外部气源中的杂质。

5.根据权利要求1所述的雾化冷却装置，其特征在于，还包括移动平台，所述移动平台与所述喷嘴连接以带动所述喷嘴移动。

6.根据权利要求5所述的雾化冷却装置，其特征在于，所述移动平台包括第一移动平台、第二移动平台及第三移动平台，所述第一移动平台与所述喷嘴连接以带动所述喷嘴沿第一方向运动，所述第二移动平台与所述第一移动平台连接以带动所述第一移动平台沿第二方向移动，所述第三移动平台与第二移动平台连接以带动所述第二移动平台沿第三方向移动，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第三方向与所述第一方向、所述第二方向均垂直。

7.根据权利要求6所述的雾化冷却装置，其特征在于，还包括支架，所述支架包括垂直连接的第一支板及第二支板，所述第二支板与所述喷头连接，所述第一支板与所述第一移动平台连接。

8.根据权利要求7所述的雾化冷却装置，其特征在于，所述喷头与所述第二支板转动连接，以使得所述喷嘴相对于所述第二支板角度可调。

9.一种自动化加工设备，其特征在于，包括：

底座；

两立柱，分别设于所述底座的两侧；

横梁，横跨于所述两立柱之间；

如权利要求1-8任一项所述的雾化冷却装置，所述雾化冷却装置滑动设于所述横梁，且能够沿所述横梁的延伸方向移动；以及

载物台，滑动设于所述底座上且位于所述雾化冷却装置下方，所述载物台用于放置待加工工件，所述载物台能够沿与所述横梁的延伸方向相垂直的方向相对所述底座滑动。

10.一种雾化冷却方法，其特征在于，包括以下步骤：

外部液体输送至喷头，同时外部气源输送至喷头；

通过控制外部液体的流量及外部气源的气压，使喷嘴喷出的水雾均匀。