[发明专利]一种便于在线监控的凹陷结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201910948614.5 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN110718533B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于在线监控的凹陷结构，包括介质层Ⅰ和位于介质层Ⅰ上方的介质层Ⅱ，所述介质层Ⅰ中包括金属通孔和金属接触层，所述金属接触层位于所述金属通孔的上方；所述介质层Ⅱ中包括位于金属接触层上方的锥形凹槽，所述锥形凹槽具有倾斜侧壁，且所述锥形凹槽远离金属接触层的水平截面面积大于所述锥形凹槽靠近金属接触层的水平截面面积；所述倾斜侧壁上覆盖反射薄膜。本发明提供的一种便于在线监控的凹陷结构及其制备方法，通过监控系统成像所得的亮暗相间的环状图像，可以快速识别凹陷结构中缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 在线 监控 凹陷 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种便于在线监控的凹陷结构，其特征在于，包括介质层Ⅰ和位于介质层Ⅰ上方的介质层Ⅱ，所述介质层Ⅰ中包括金属通孔和金属接触层，所述金属接触层位于所述金属通孔的上方；所述介质层Ⅱ中包括位于金属接触层上方的锥形凹槽，所述锥形凹槽具有倾斜侧壁，且所述锥形凹槽远离金属接触层的水平截面面积大于所述锥形凹槽靠近金属接触层的水平截面面积；所述倾斜侧壁上覆盖反射薄膜；/n当在线监控所述凹陷结构时，入射光入射至所述凹陷结构，监控系统收集凹陷结构的反射光线或者散射光线，形成成像图形；其中，所述倾斜侧壁上方的反射薄膜在成像图形中对应形成亮色反射外环，倾斜侧壁下方无法将入射光反射或者散射出凹陷结构的部分在成像图形中对应形成暗色中环，金属接触层在成像图形中对应形成亮色反射区域。/n
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