[发明专利]一种基于相干梯度敏感干涉的条纹自动处理装置有效
| 申请号: | 201910937847.5 | 申请日: | 2019-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN110672027B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
| 发明(设计)人: | 谢惠民;李加强 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
| 主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 罗文群 |
| 地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种基于相干梯度敏感干涉的条纹自动处理装置,属于全场干涉类光学测量技术领域。本发明装置利用不同折射率对光程和传播方向的影响,在两个光栅之间安装两个楔形透明介质,通过移动两个透明介质的相对位置来实现调控经过这两个透明介质的光的光程差,光束在条纹自动处理装置中传播时,通过同步调整两个旋转介质之间的距离和两个固定介质之间的距离,即可实现条纹的自动处理。本发明可精准有效地控制相干梯度敏感干涉测量中的光程差,提高相干梯度敏感干涉方法的测量精度。此外,本发明还解决了在使用相干梯度敏感干涉方法同时测量两个方向的变形梯度时实现同步自动处理条纹的难题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 基于 相干 梯度 敏感 干涉 条纹 自动 处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基于相干梯度敏感干涉的条纹自动处理装置,其特征在于包括:前旋转光栅(12)、后旋转光栅(15)、前旋转介质(13)、后旋转介质(14)、前固定光栅(16)、后固定光栅(19)、前固定介质(17)、后固定介质(18)和固定基座(20);所述的前旋转光栅(12)、前旋转介质(13)、后旋转介质(14)和后旋转光栅(15)同光轴安装,其中,前旋转光栅(12)镶嵌在前旋转光栅支架(121)上的第一旋转框(122)中,前旋转介质(13)镶嵌在前旋转介质支架(131)上的第二旋转框(132)中,后旋转光栅(15)镶嵌在后旋转光栅支架(151)上的第三旋转框(152)中,前旋转光栅支架(121)、前旋转介质支架(131)和后旋转光栅支架(151)分别安装在固定基座(20)的一侧,前旋转介质(13)和后旋转介质(14)分别为几何尺寸相同、材质相同的三角棱镜,两个三角棱镜的空间位置关系为斜面和直角面分别互相平行,后旋转介质(14)镶嵌在后旋转介质框(141)上,后旋转介质框(141)与连接支架(203)的一端固定,连接支架(203)通过固定支架202固定在固定基座(20)的中间,连接支架(203)与运动导轨(201)相对固定;所述的前固定光栅(16)、前固定介质(17)、后固定介质(18)和后固定光栅(19)同光轴安装,其中,固定光栅(16)、前固定介质(17)和后固定光栅(19)分别通过前固定光栅支架(161)、前固定介质支架(171)和后固定光栅支架(191)安装在固定基座(20)的另一侧,后固定介质(18)固定在连接支架(203)的另一端,前固定介质(17)和后固定介质(18)分别为几何尺寸相同、材质相同的三角棱镜,两个三角棱镜的空间位置关系为斜面和直角面分别互相平行。/n
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