[发明专利]一种具有双隔板的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201910931075.4 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112575294B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 任三兵;樊俊飞 | 申请（专利权）人： | 宝山钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/16;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有双隔板的真空镀膜装置，包括坩埚，其外侧设有感应加热器，坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，布流箱体内依次设有分流隔板、稳压隔板，布流箱体顶部连有喷嘴；所述分流隔板、稳压隔板均设置为多孔结构；所述分流隔板上多孔总面积S2≥1.2*蒸汽管道面积S1；所述稳压隔板上多孔总面积S8/喷嘴出口S9≥0.1；所述喷嘴出口S9/蒸汽管道面积S1≥0.05～5。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 隔板 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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