[发明专利]一种具有双隔板的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：包括坩埚，其外侧设有感应加热器，坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，布流箱体内依次设有分流隔板、稳压隔板，布流箱体顶部连有喷嘴；

所述分流隔板、稳压隔板均设置为多孔结构，金属蒸汽通过分流板后其流向得到了改变，有利于将气体进行初次分配，而后蒸汽继续在布流箱体中受到稳压板的缓冲，蒸汽得到进一步的均压，当蒸汽通过稳压板后由喷嘴喷出，形成均匀的喷射流；

所述分流隔板上多孔总面积S2≥1.2*蒸汽管道面积S1；

所述稳压隔板上多孔总面积S8/喷嘴出口S9≥0.1；

所述喷嘴出口S9/蒸汽管道面积S1≥0.05～5，

所述分流隔板上正对蒸汽管道冲击区的分流隔板上小孔或狭缝面积为S3，蒸汽管道冲击区两侧2D范围的分流隔板上小孔或狭缝面积为S4、S5，靠近分流隔板上边部的小孔或狭缝面积为S6、S7，当蒸汽管道内具有不同压力时，上述几种面积分配具有如下关系：

1)当蒸汽管道入口压力为500～2000Pa时：

S3＝(0.05-0.1)S1，S4(S5)＝(0.2-0.4)S1，S6(S7)＝(0.5-0.7)S1；

2)当蒸汽管道入口压力为2000～5000Pa时：

S3＝(0.01-0.05)S1，S4(S5)＝(0.1-0.2)S1，S6(S7)＝(0.3-0.5)S1；

3)当蒸汽管道入口压力为5000～10000Pa时：

S3＝(0.001-0.01)S1，S4(S5)＝(0.05-0.1)S1，S6(S7)＝(0.1-0.3)S1；

4)当蒸汽管道入口压力为≥10000Pa时：

S3＝(0.0001-0.001)S1，S4(S5)＝(0.01-0.05)S1，S6(S7)＝(0.05-0.1)S1。

2.如权利要求1所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述分流隔板上的孔形状为矩形、圆形、三角形、梯形或者是狭缝形。

3.如权利要求1所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述稳压隔板上的孔形状为矩形、圆形或三角形。

4.如权利要求3所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述稳压隔板上孔隙的走向为直线、曲线或者多层结构。

5.如权利要求1所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述喷嘴出口设置为狭缝型或多孔型。

6.如权利要求5所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述狭缝型喷嘴出口设置为直线形或者曲线形。

7.如权利要求5所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述多孔型喷嘴出口设置为矩形、圆形或梯形。

8.如权利要求5所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述喷嘴为石墨、陶瓷或者金属材质制成。

9.如权利要求1所述一种具有双隔板的真空镀膜装置，其特征在于：所述蒸汽管道上还设有调压阀。