[发明专利]一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201910931051.9 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112575308B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 任三兵;樊俊飞;李山青;熊斐;汪义如 | 申请（专利权）人： | 宝山钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置，所述真空镀膜装置设于钢板的下方，包括坩埚，其外侧设有感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，所述蒸汽管道至所述布流箱体方向上设有调压阀和分流阀，所述布流箱体内设有一水平向的稳压板，所述布流箱体顶部连有若干个子喷嘴；所述分流阀内设有若干个气流分配腔，所述气流分配腔的总面积S |
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| 搜索关键词： | 一种 真空 带钢 高效 镀膜 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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