[发明专利]一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置，所述真空镀膜装置设于钢板的下方，其特征在于：包括坩埚，其外侧设有感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，所述蒸汽管道至所述布流箱体方向上设有调压阀和分流阀，所述布流箱体内设有一水平向的稳压板，所述布流箱体顶部连有若干个子喷嘴；

所述分流阀内设有若干个气流分配腔，所述气流分配腔的总面积S_分流与所述蒸汽管道的径向面积S_管道之比大于等于0.1，即：

S_分流/S_管道≥0.1，

所述稳压板设置为多孔结构，其上的孔形状为矩形、圆形、三角形、梯形或者是狭缝形，

所述稳压板上的孔隙总面积S_{孔隙总面积}与所述蒸汽管道和所述坩埚顶部连接位置面积S_入口之比大于等于0.1，即：

S_{孔隙总面积}/S_出口≥0.1，

所述子喷嘴出口设置为狭缝型或多孔型，且所述子喷嘴出口面积S_出口与所述蒸汽管道和所述坩埚顶部连接位置面积S_入口之比大于等于0.05～5，即：

S_出口/S_入口≥0.05～5

所述子喷嘴内部工作压力为500～500000Pa，

所述子喷嘴为平行等距设置，所述子喷嘴出口间距与所述钢板运行速度关系如下：

当所述钢板运行速度为30～60m/min时，所述子喷嘴出口中心线距离为50～100mm；

当所述钢板运行速度为61～100m/min时，所述子喷嘴出口中心线距离为100～150mm；

当所述钢板运行速度为101～150m/min时，所述子喷嘴出口中心线距离为150～200mm；

当所述钢板运行速度为151～200m/min时，所述子喷嘴出口中心线距离为200～300mm，

所述子喷嘴之间采用平行等距布置，当蒸汽通过稳压板后由各级喷嘴喷出，形成均匀的喷射流，当高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成了均匀镀层；从后续子喷嘴形成的金属层不断的覆盖至前端蒸镀金属层上，从而一次形成高效的金属镀层。

2.如权利要求1所述一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置，其特征在于：所述狭缝型子喷嘴出口设置为直线形或者曲线形。

3.如权利要求1所述一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置，其特征在于：所述多孔型子喷嘴出口设置为矩形、圆形或梯形。

4.如权利要求1所述一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置，其特征在于：所述子喷嘴为石墨、陶瓷或者金属材质制成。

5.如权利要求1所述一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置，其特征在于：所述稳压板上孔隙的走向为直线、曲线或者多层结构。