[发明专利]剥离液储罐、光阻剥离设备及方法在审
| 申请号： | 201910909382.2 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110639274A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李洋;王云志;罗云 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00;B08B1/02;B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 11138 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 杨广宇 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法，属于显示技术领域。剥离液储罐包括：罐体，以及，固定在罐体内的吸附过滤组件，罐体上设置有进液口和出液口，该吸附过滤组件位于进液口与出液口之间；该吸附过滤组件包括吸附层，该吸附层用于对从进液口进入罐体并流向出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附。由于吸附过滤组件中的吸附层可以对剥离液中的光阻碎片进行吸附，因此经过该吸附过滤组件的剥离液中残留的光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，有助于提高显示产品的良率和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离液 光阻 吸附过滤 出液口 进液口 吸附层 罐体 储罐 吸附 残留 剥离设备 显示产品 再次利用 组件包括 基板 良率 剥离 体内 申请 | ||
【主权项】：
1.一种剥离液储罐，其特征在于，所述剥离液储罐包括：/n罐体，以及，固定在所述罐体内的吸附过滤组件，所述罐体上设置有进液口和出液口，所述吸附过滤组件位于所述进液口与所述出液口之间；/n所述吸附过滤组件包括吸附层，所述吸附层用于对从所述进液口进入所述罐体并流向所述出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附。/n
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