[发明专利]剥离液储罐、光阻剥离设备及方法

说明书

本申请提供了一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法，属于显示技术领域。剥离液储罐包括：罐体，以及，固定在罐体内的吸附过滤组件，罐体上设置有进液口和出液口，该吸附过滤组件位于进液口与出液口之间；该吸附过滤组件包括吸附层，该吸附层用于对从进液口进入罐体并流向出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附。由于吸附过滤组件中的吸附层可以对剥离液中的光阻碎片进行吸附，因此经过该吸附过滤组件的剥离液中残留的光阻碎片较少，再次利用该剥离液剥离光阻时，能够残留在基板上的光阻碎片较少，有助于提高显示产品的良率和品质。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别涉及一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法。

背景技术

显示产品的制程通常包括前段制程、中段制程和后段组装制程，前段制程主要用于在基板上制作功能图形。在前段制程中，首先在基板上沉积薄膜并在薄膜上涂覆光阻，接着对光阻依次进行曝光和显影得到光阻图形，然后在光阻图形的遮挡下对薄膜进行刻蚀，最后通过光阻剥离设备剥离光阻图形，得到功能图形。

相关技术中，光阻剥离设备通常包括剥离液储罐、过滤器、抽液泵和剥离室，过滤器的出液口与剥离液储罐的进液口连通，剥离液储罐的出液口与抽液泵的进液口连通，过滤器的进液口和抽液泵的出液口均位于剥离室内，抽液泵用于将剥离液储罐中的剥离液抽出并喷洒至剥离室内的待剥离基板上对该待剥离基板上的光阻进行剥离，过滤器用于对从剥离室流向该过滤器的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入剥离液储罐，以对剥离液进行回收并再次利用。

但是，过滤器的过滤效果较差，导致过滤后的剥离液中仍残留有较多的光阻碎片，在对过滤后的剥离液再次利用时，该剥离液中的光阻碎片容易残留在基板上，影响显示产品的良率和品质。

发明内容

本申请实施例提供了一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法，有助于提高显示产品的良率和品质。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种剥离液储罐，所述剥离液储罐包括：

罐体，以及，固定在所述罐体内的吸附过滤组件，所述罐体上设置有进液口和出液口，所述吸附过滤组件位于所述进液口与所述出液口之间；

所述吸附过滤组件包括吸附层，所述吸附层用于对从所述进液口进入所述罐体并流向所述出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附。

可选地，所述吸附层的材料为大孔吸附树脂。

可选地，所述大孔吸附树脂的孔尺寸为0.5微米～1.5微米。

可选地，所述吸附过滤组件还包括：至少两层过滤层，所述至少两层过滤层中每相邻的两层过滤层之间设置有所述吸附层。

可选地，所述过滤层的滤孔的形状包括：圆形或多边形中的至少一种。

可选地，所述过滤层的滤孔的尺寸为0.5毫米～1.5毫米。

可选地，所述吸附过滤组件包括：两层所述过滤层，所述过滤层为过滤网。

可选地，所述进液口位于所述罐体的侧壁上，所述出液口位于所述罐体的顶面上，所述吸附过滤组件固定在所述罐体的内壁上，且所述吸附过滤组件与所述罐体的底面平行。

第二方面，提供了一种光阻剥离设备，所述光阻剥离设备包括：剥离机构、清洗机构和风干机构，所述剥离机构包括第一方面任一所述的剥离液储罐，

所述剥离机构用于使用所述剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行剥离，其中，所述吸附过滤组件用于在剥离液经过所述吸附过滤组件时对所述剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤；

所述清洗机构用于在所述剥离机构对所述待剥离基板上的光阻进行剥离后，对所述待剥离基板进行清洗，去除所述待剥离基板上残留的光阻和剥离液；