[发明专利]一种加热器、加热方法及等离子处理器有效
| 申请号： | 201910892700.9 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112543520B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 江家玮;徐朝阳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/44 | 分类号： | H05B3/44;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;章丽娟 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加热器、加热方法及等离子处理器，等离子体处理器包含反应腔，反应腔内设置静电夹盘，静电夹盘下方设置基座，反应腔上部设有气体喷淋装置，气体喷淋装置与气体供应装置相连，加热器用于控制等离子处理器中的任意待加热部件的温度，加热器包含：绝缘结构，其内部开设有内孔，并在内孔壁上预加工出目标结构的导向槽；加热结构，设置在与加热结构相匹配的导向槽内，通过导向槽将加热结构导向为目标结构。本发明通过在氧化镁柱的内孔中预先加工出均匀的导向槽，很好地导向螺旋状的加热丝，使得加热丝均匀地分布在内孔中的导向槽，提高了加热器的温度均匀性，同时也延长了加热器的寿命，有利于改善晶圆上刻蚀率的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 加热 方法 等离子 处理器 | ||
【主权项】：
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