[发明专利]一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法

摘要

本发明提供一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法，所述方法包括：在衬底表面形成侧向腐蚀引导层；淀积牺牲层；制作热偶层及吸收膜层；淀积热偶保护层，刻蚀形成腐蚀孔，通过腐蚀孔去除侧向腐蚀引导层、纵向腐蚀引导层及衬底，形成隔热空腔；去除热偶保护层，淀积引线绝缘层，刻蚀引线绝缘层形成接触孔，再形成金属引线；去除牺牲层及部分引线绝缘层，获得悬浮红外热堆。本发明采用单面加工工艺，可用于实现微传感器与集成电路的单片集成，有利于小尺寸、低成本、大批量生产。另外，利用牺牲层增强结构强度，提高生产良率。

主权项

1.一种在衬底上制作悬浮红外热堆的方法，其特征在于，所述方法至少包括：/n1)提供衬底，在所述衬底表面形成侧向腐蚀引导层；/n2)在所述衬底和所述侧向腐蚀引导层表面淀积牺牲层；/n3)在所述牺牲层上制作热偶层以及与所述热偶层一端相连的吸收膜层；/n4)淀积覆盖所述牺牲层、所述热偶层以及所述吸收膜层的热偶保护层，然后刻蚀所述热偶保护层和所述牺牲层，形成暴露所述侧向腐蚀引导层的腐蚀孔，并通过所述腐蚀孔腐蚀去除所述侧向腐蚀引导层以及所述侧向腐蚀引导层下方的所述衬底，形成隔热空腔；/n5)去除所述热偶保护层，淀积覆盖所述牺牲层、所述热偶层以及所述吸收膜层的引线绝缘层，刻蚀所述引线绝缘层形成暴露所述热偶层的接触孔，再在所述接触孔中及所述引线绝缘层表面形成金属引线；/n6)去除所述隔热空腔上方的所述牺牲层及部分所述引线绝缘层，获得所述悬浮红外热堆。/n