[发明专利]一种红外气体传感器有效
申请号: | 201910875684.2 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110687067B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 李铁;刘延祥;王翊;周宏;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/03 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请提供一种红外气体传感器,包括探测器,探测器包括一个探测器芯片和多种超材料,多种超材料设置在探测器芯片上方,每种超材料的中心波长对应待测气体的一个特征吸收峰,通过调整超材料结构进行待测气体某一特征吸收峰对应红外光透射强度的调整,从而改变待测气体某一特征吸收峰对应波长转化电信号占探测器芯片输出信号的权重;探测器芯片的输出信号为所述多种超材料对应的中心波长红外光转化电信号的总和。本申请提供的红外气体传感器的探测器包括一个芯片和多种超材料,使得探测器体积减小,从而减小红外气体传感器的体积,并且能够提高红外气体传感器的精度和识别能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外 气体 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种红外气体传感器,其特征在于,包括探测器(1),所述探测器(1)包括一个探测器芯片(101)和多种超材料;/n所述多种超材料分布于所述探测器芯片(101)上方。/n
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