[发明专利]一种红外气体传感器有效
| 申请号： | 201910875684.2 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110687067B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 李铁;刘延祥;王翊;周宏;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/03 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 红外 气体 传感器 | ||
1.一种红外气体传感器，其特征在于，包括探测器（1），所述探测
器（1）包括一个探测器芯片（101）和多种超材料；
所述多种超材料分布于所述探测器芯片（101）上方；所述多种超材料的结构均为金属层-介质层-金属层结构；
通过调整所述超材料的结构能够进行待测气体某一特征吸收峰对应红外光透射强度的调整，从而改变所述待测气体某一特征吸收峰对应波长转化电信号占所述探测器芯片（101）输出信号的权重；
所述探测器芯片（101）的输出信号为所述多种超材料对应的中心波长红外光转化电信号的总和。
2.根据权利要求1所述的红外气体传感器，其特征在于，所述探测器芯片（101）包括热电堆芯片、热释电芯片或光电芯片。
3.根据权利要求2所述的红外气体传感器，其特征在于，所述每种超材料对应一个所述待测气体的特征吸收峰，所述多种超材料对应所述待测气体的多个特征吸收峰。
4.根据权利要求3所述的红外气体传感器，其特征在于，所述金属层包括Au层、Ag层或Al层中的任意一项，所述介质层包括Si3N4层、SiO2层或Si3N4/SiO2复合层中的任意一项。
5.根据权利要求4所述的红外气体传感器，其特征在于，还包括红外光源（2）、光学气室（3）和电路模块（4）。
6.根据权利要求5所述的红外气体传感器，其特征在于，所述红外光源（2）为白炽灯泡或微加工工艺制成的光源。
7.根据权利要求6所述的红外气体传感器，其特征在于，所述电路模块（4）包括光源控制模块、信号放大模块、信号采集模块、信号处理模块和通讯显示模块。
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