[发明专利]一种微机电系统的电容式加速度计有效
| 申请号： | 201910872020.0 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110501522B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 郭慧芳;裘进 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种微机电系统的电容式加速度计，一种微机电系统的电容式加速度计，包括一检测板、一支撑基座、以及一可动结构，可动结构可旋转的连接于支撑基座上；支撑基座设置于检测板的第一中轴线和第二中轴线的交点；电容式加速计还包括：多个电极以第一中轴线为对称轴相对设置于检测板上；多个电极以第二中轴线为对称轴呈镜像对称设置于检测板上。发明技术方案的有益效果在于：通过改变电容式加速度计的结构，有效地降低了因支撑基座应力和检测板翘曲产生的零点漂移，从而提升电容式加速度计的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统的电容式加速度计，包括一检测板、一支撑基座以及一可动结构，所述可动结构可旋转的连接于所述支撑基座上；其特征在于，所述支撑基座设置于所述检测板的第一中轴线和第二中轴线的交点；所述电容式加速计还包括：/n多个电极以所述第一中轴线为对称轴相对设置于所述检测板上；/n多个所述电极以所述第二中轴线为对称轴呈镜像对称设置于所述检测板上。/n
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