[发明专利]一种微机电系统的电容式加速度计

权利要求书

1.一种微机电系统的电容式加速度计，包括一检测板、一支撑基座以及一可动结构，所述可动结构可旋转的连接于所述支撑基座上；其特征在于，所述支撑基座设置于所述检测板的第一中轴线和第二中轴线的交点；所述电容式加速计还包括：

多个电极以所述第一中轴线为对称轴相对设置于所述检测板上；

多个所述电极以所述第二中轴线为对称轴呈镜像对称设置于所述检测板上；

多个所述电极的尺寸相同；

所述检测板包括由所述第一中轴线和所述第二中轴线划分出的四个检测区域，每个所述检测区域包括两对所述电极；

每对所述电极的极性相反，以所述第一中轴线为对称轴相对设置的两个所述电极之间的极性相反；以所述第二中轴线为对称轴对称设置的两个所述电极之间的极性相同；

每个所述检测区域内的多个所述电极交替设置，且每个所述电极与相邻的所述电极的极性相反。

2.根据权利要求1所述的电容式加速度计，其特征在于，一对所述电极包括一正电极和一负电极。