[发明专利]一种平面可集成化慢波结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201910863575.9 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110473756B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 宋芦迪;徐进;魏彦玉;殷海荣;岳玲娜;王文祥;赵国庆 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J23/24 | 分类号： | H01J23/24 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 李鹏 |
| 地址： | 610054 四川省成都市成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面可集成化慢波结构，包括数个慢波结构单元，慢波结构单元包括第一介质基底、金属底板和金属线；第一介质基底在金属线两端对其进行支撑，中间保持真空，在两个第一介质基底底部由一块金属底板进行支撑，数个慢波结构单元首尾相连，组成周期性结构，即平面可集成化慢波结构；一种平面可集成化慢波结构的加工方法，包括以下步骤：S1：为了得到悬空的金属线，需要在所需位置对介质基板进行腐蚀处理，去除中间部分的介质，得到一条真空通道；S2：选用光刻胶作为牺牲层材料，使其完整淀积在介质中间的真空区域；解决了以往结构无法降低器件工作电压、提高平面行波管的输出总功率及功率密度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 集成化 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种平面可集成化慢波结构，其特征在于，包括数个慢波结构单元，所述慢波结构单元包括第一介质基底(1)、金属底板(2)和金属线(3)；所述第一介质基底(1)在金属线(3)两端对其进行支撑，中间保持真空，在两个第一介质基底(1)底部由一块金属底板(2)进行支撑，数个慢波结构单元首尾相连，组成周期性结构，即平面可集成化慢波结构。/n
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