[发明专利]一种基于近零传输法的电小尺寸样本介电特性检测装置有效
申请号: | 201910859893.8 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110470677B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 刘伟娜;施艳艳;牛有田 | 申请(专利权)人: | 河南师范大学 |
主分类号: | G01N22/00 | 分类号: | G01N22/00;G01N27/22;G01R27/26 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 赵红霞 |
地址: | 453007 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于近零传输法的电小尺寸样本介电特性检测装置,介电特性检测装置为不对称三端口网络,具体包括底层金属层、中间介质层和上层金属带条;其中,所述上层金属带条包括一个微带型威尔金森功分器,一个90度3dB分支线耦合器,两条支路和加载在两条支路上的电场增强支节,两个电场增强支节构成了介电特性检测装置的测试和参考区域,在测试和参考区域加载了微流通道;当两个微流通道加载相同的样品或者装置处于空载时,介电特性检测装置处于对称平衡状态,则会有两个传输零点出现,当两个微流通道加载的样品具有微小差异时,介电特性检测装置的传输零点将发生变化。本发明使用方便,价格低廉,易于集成。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 传输 尺寸 样本 特性 检测 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基于近零传输法的电小尺寸样本介电特性检测装置,其特征在于:介电特性检测装置为不对称三端口网络,具体包括底层金属层、中间介质层和上层金属带条;/n其中,所述上层金属带条包括一个微带型威尔金森功分器,一个90度3dB分支线耦合器,两条支路和加载在两条支路上的电场增强支节,两个电场增强支节构成了介电特性检测装置的测试和参考区域,在测试和参考区域加载了微流通道;/n当两个微流通道加载相同的样品或者装置处于空载时,介电特性检测装置处于对称平衡状态,则会有两个传输零点出现,当两个微流通道加载的样品具有微小差异时,介电特性检测装置的传输零点将发生变化。/n
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