[发明专利]一种多色超短脉冲光丝隐切方法及装置有效
| 申请号： | 201910857217.7 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110549012B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 曾和平;袁帅;杜迎生;徐晖;聂源;王勇;马艳颖;王瑾;俞珏 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学重庆研究院;上海朗研光电科技有限公司;华东师范大学;上海理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;H01L21/461 |
| 代理公司： | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人： | 康海燕 |
| 地址： | 401121 重庆市渝北*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多色超短脉冲光丝隐切方法，由激光光源部件同时产生多条不同波长的激光束，调整激光束的方向和光斑大小，使得激光束从待切割材料的上表面垂直入射，通过自聚焦作用和等离子体形成的散焦效应，形成一条动态平衡的激光通道，在激光通道中的不同位置形成多段超短脉冲光丝，所述多段超短脉冲光丝在空间上相连且在相连位置发生相干叠加，延长在待切割材料中的整体光丝长度。其能够提高切割效率，减小对材料的损伤，增加切割面的平整度。本发明还公开了一种实现上述多色超短脉冲光丝隐切方法的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多色 超短 脉冲 光丝隐切 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多色超短脉冲光丝隐切方法，其特征在于：由激光光源部件同时产生多条不同波长的激光束，调整激光束的方向和光斑大小，使得激光束从待切割材料的上表面垂直入射，通过自聚焦作用和等离子体形成的散焦效应，形成一条动态平衡的激光通道，在激光通道中的不同位置形成多段超短脉冲光丝，所述多段超短脉冲光丝在空间上相连且在相连位置发生相干叠加，延长在待切割材料中的整体光丝长度。/n
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