[发明专利]一种多色超短脉冲光丝隐切方法及装置

权利要求书

1.一种多色超短脉冲光丝隐切方法，其特征在于：由激光光源部件同时产生多条不同波长的激光束，调整激光束的方向和光斑大小，使得激光束从待切割材料的上表面垂直入射，通过自聚焦作用和等离子体形成的散焦效应，形成一条动态平衡的激光通道，在激光通道中的不同位置形成多段超短脉冲光丝，所述多段超短脉冲光丝在空间上相连且在相连位置发生相干叠加，延长在待切割材料中的整体光丝长度。

2.根据权利要求1所述的多色超短脉冲光丝隐切方法，其特征在于：所述超短脉冲光丝的脉冲宽度≤2皮秒。

3.根据权利要求1或2所述的多色超短脉冲光丝隐切方法，其特征在于：由激光光源部件产生的激光束的数量为四条，分别为蓝激光、绿激光、黄激光和红激光。

4.根据权利要求3所述的多色超短脉冲光丝隐切方法，其特征在于：所述蓝激光的波长为400nm，所述绿激光的波长为532nm，所述黄激光的波长为600nm，所述红激光的波长为700nm。

5.根据权利要求1或2所述的多色超短脉冲光丝隐切方法，其特征在于：所述待切割材料为硅、碳化硅或蓝宝石。

6.一种实现权利要求1~5任一项所述的多色超短脉冲光丝隐切方法的多色超短脉冲光丝隐切装置，其特征在于包括：

激光光源部件，用于产生多条不同波长的激光束；

光束调节系统，包括光学元件组和聚焦元件组，所述光学元件组的输入端与激光光源部件的输出端通过光纤连接，用于调整激光束的传递方向，所述聚焦元件组的输入端与光学元件组的输出端连接，用于调整激光束的光斑大小；

移动工作台，用于固定待切割材料且能够作六向运动；

控制系统，通过计算机分别与激光光源部件和移动平台连接，控制激光光源部件和移动平台的相互通信和协调工作。

7.根据权利要求6所述的多色超短脉冲光丝隐切装置，其特征在于：所述激光光源部件为固体激光器、气体激光器或光纤激光器，输出波长为紫外200~400nm、可见400~700nm或红外700~10000nm。

8.根据权利要求6所述的多色超短脉冲光丝隐切装置，其特征在于：还包括冷却系统，该冷却系统分别与激光光源部件、光学元件组、聚焦元件组和待切割材料连接。