[发明专利]谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201910851524.4 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110635775B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 唐滨;王家友;王友良;赖志国;唐兆云;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 215002 江苏省常州市苏州工业园区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振器，包括：第一电极，位于基板上；压电层，位于第一电极上；第二电极，位于压电层上；框架，位于第一电极下方或上方和/或第二电极上方或下方，框架的厚度沿垂直方向渐变。依照本发明的谐振器，利用倾斜缓变的框架，以简单的制作工艺高效地提升了FBAR器件的Q值，提高了工艺兼容性和谐振器结构的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种谐振器，包括：/n第一电极，位于基板上；/n压电层，位于第一电极上；/n第二电极，位于压电层上；/n框架，位于第一电极下方或上方和/或第二电极上方或下方，框架的厚度沿垂直方向渐变。/n
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