[发明专利]垂直型恒流二极管及其制造方法在审
| 申请号： | 201910844938.4 | 申请日： | 2019-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN110473912A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 乔明;何林蓉;孟培培;张波 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/329;H01L29/861 |
| 代理公司： | 51232 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 敖欢<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种垂直型恒流二极管及制造方法，包括衬底、第二导电类型第一外延层、第二导电类型第二外延层、第一导电类型阱区、第一导电类型阴极接触区、第二导电类型阴极接触区、第二导电类型沟道注入区、金属前介质、覆盖整个恒流二极管元胞表面的阴极金属接触、位于衬底下表面的阳极金属接触，本发明通过引入低掺杂浓度的第二导电类型第二外延层，降低沟道处掺杂浓度，从而避免恒流二极管在正向工作时提前击穿，提高器件正向击穿电压。 | ||
| 搜索关键词： | 导电类型 恒流二极管 外延层 第一导电类型 阴极接触区 导电类型沟道 正向击穿电压 衬底下表面 金属前介质 阳极金属 阴极金属 垂直型 低掺杂 沟道处 注入区 衬底 击穿 元胞 正向 阱区 掺杂 引入 覆盖 制造 | ||
【主权项】：
1.一种垂直型恒流二极管，其特征在于：包括衬底(00)，位于衬底(00)之上的第二导电类型第一外延层(21)，位于第二导电类型第一外延层(21)之上的第二导电类型第二外延层(22)，位于第二导电类型第二外延层(22)之中的第一导电类型阱区(11)，位于第一导电类型阱区(11)中的第一导电类型阴极接触区(12)和第二导电类型阴极接触区(24)，位于第二导电类型阴极接触区(24)和第二导电类型第二外延层(22)之间且嵌入第一导电类型阱区(11)上表面的第二导电类型沟道注入区(23)，位于第二导电类型第二外延层(22)和第二导电类型沟道注入区(23)上表面的金属前介质(31)，覆盖整个恒流二极管元胞表面的阴极金属接触(42)，位于衬底(00)下表面的阳极金属接触(41)。/n
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