[发明专利]一种PECVD石墨舟的清洗方法在审
| 申请号： | 201910831719.2 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN110523696A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张大荣;崔美丽;赵福祥;崔钟亨;刘俊稳;沈丽娟 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源(启东)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/10;B08B5/02 |
| 代理公司： | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 吴芳<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种PECVD石墨舟的清洗方法，其包括以下步骤：配液：在清洗槽内配置氢氟酸溶液；清洗：将石墨舟整体放入氢氟酸溶液内，浸泡时间为5‑7小时，浸泡同时开启鼓泡；抽液：待石墨舟整体浸泡5‑7小时后，将氢氟酸溶液抽出；第一次喷淋：用去离子水对石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设为1‑10分钟；水洗鼓泡：使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1‑2小时，溢流的同时开启鼓泡；吹扫：用气枪吹扫石墨舟表面；烘干：将经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中。本发明提供的清洗方法中，对石墨舟整体进行清洗，减少拆卸和安装石墨舟的时间，并缩短石墨舟清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟 清洗 喷淋 氢氟酸溶液 吹扫 鼓泡 浸泡 去离子水 气枪 放入 溢流 烘箱 色差 清洗槽 拆卸 产能 抽液 烘干 配液 抽出 配置 | ||
【主权项】：
1.一种PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1、配液：在清洗槽内配置浓度为20％～25％的氢氟酸溶液；/nS2、清洗：将石墨舟整体放入S1步骤中配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5-7小时，浸泡的同时开启鼓泡；/nS3、抽液：待石墨舟整体浸泡5-7小时后，将S2步骤中的氢氟酸溶液抽出；/nS4、第一次喷淋：用去离子水对S3步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟；/nS5、水洗鼓泡：使用去离子水对S4步骤中已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1-2小时，溢流的同时开启鼓泡；/nS6、吹扫：用气枪吹扫S5步骤中石墨舟表面；/nS7、烘干：将S7步骤中经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中，设定烘干温度范围为110℃-130℃，设定烘干时间范围为11-12小时。/n
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