[发明专利]一种PECVD石墨舟的清洗方法

说明书

本发明公开一种PECVD石墨舟的清洗方法，其包括以下步骤：配液：在清洗槽内配置氢氟酸溶液；清洗：将石墨舟整体放入氢氟酸溶液内，浸泡时间为5‑7小时，浸泡同时开启鼓泡；抽液：待石墨舟整体浸泡5‑7小时后，将氢氟酸溶液抽出；第一次喷淋：用去离子水对石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设为1‑10分钟；水洗鼓泡：使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1‑2小时，溢流的同时开启鼓泡；吹扫：用气枪吹扫石墨舟表面；烘干：将经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中。本发明提供的清洗方法中，对石墨舟整体进行清洗，减少拆卸和安装石墨舟的时间，并缩短石墨舟清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差。

技术领域

本发明涉及晶硅太阳能电池制造中所用石墨舟领域，尤其涉及一种PECVD石墨舟的清洗方法。

背景技术

随着光伏技术的不断发展，晶硅太阳能电池作为以一种将太阳能转化为电能的清洁能源产品得到了迅猛发展。

随着PECVD(等离子体增强的化学气相沉积，是制作太阳能电池工序中的一道工序)技术不断发展，从原来的板式PECVD转变成了管式PECVD，它的目的是在硅片表面(扩散面)沉积一层深蓝色的SiNx膜，而这层SiNx膜的作用是：减少电池表面光的反射，进行表面及体钝化，减少电池的反向漏电流，具有良好的抗氧化和绝缘性能，同时具有良好的阻挡钠离子、阻挡金属和水蒸汽扩散的能力。当石墨舟运行到一定的次数后，表面沉积了很厚的氮化硅，影响舟壁与硅片的接触，从而影响镀膜的质量，导致电池片出现严重的色差问题，因此要进行石墨舟的清洗。目前大多数电池片生产厂家在石墨舟使用了80-100次后，采用了拆卸石墨舟整体后分片清洗工艺，因拆卸清洗后再安装，需要较长时间，且可能会损坏石墨舟而影响石墨舟使用性能。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供了一种PECVD石墨舟的清洗方法，缩短石墨舟清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差，所述技术方案如下：

本发明提供一种PECVD石墨舟的清洗方法，其包括以下步骤：

S1、配液：在清洗槽内配置浓度为20％～25％的氢氟酸溶液；

S2、清洗：将石墨舟整体放入S1步骤中配制好的氢氟酸溶液内，浸泡时间为5-7小时，浸泡的同时开启鼓泡；

S3、抽液：待石墨舟整体浸泡5-7小时后，将S2步骤中的氢氟酸溶液抽出；

S4、第一次喷淋：用去离子水对S3步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟；

S5、水洗鼓泡：使用去离子水对S4步骤中已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1-2小时，溢流的同时开启鼓泡；

S6、吹扫：用气枪吹扫S5步骤中石墨舟表面；

S7、烘干：将S7步骤中经过气枪吹扫后的石墨舟放入烘箱中，设定烘干温度范围为110℃-130℃，设定烘干时间范围为11-12小时。

进一步地，所述清洗方法还包括：在S6步骤的吹扫前还包括如下步骤：

第二次喷淋：用去离子水对S5步骤中经过水洗鼓泡后的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟。

进一步地，在第二次喷淋中，用去离子水对S5步骤中的石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间为1分钟。

进一步地，在S2步骤中，所述石墨舟整体在氢氟酸内的浸泡时间设置为6小时，浸泡的同时开启鼓泡。

进一步地，在S4步骤中，用去离子水喷淋S3步骤中的石墨舟整体，喷淋时间为5分钟。

进一步地，在S4步骤中，用去离子水喷淋S3步骤中的石墨舟整体时翻转石墨舟整体。