[发明专利]一种PET柔性功能膜镀膜系统

摘要

本发明涉及原子层沉积技术领域，特别是涉及一种PET柔性功能膜镀膜系统。本发明所提供的PET柔性功能膜镀膜系统包括流体反应源输入管道、镀膜装置和第一配料装置，镀膜装置包括镀膜装置本体、镀膜装置流体引入管道和镀膜装置流体引出管道，第一配料装置包括第一配料装置本体、第一配料装置流体引入管道和第一配料装置流体引出管道，镀膜装置流体引入管道和第一配料装置流体引入管道均与流体反应源输入管道流体连通。本发明所提供的PET柔性功能膜镀膜系统有利于三维钝体表面生长过程中层流条件的建立、空气动力学界面层分离的抑制、以及镀膜过程的迅速完成，并能够节约原子层沉积原料2倍以上，且可实现快速镀膜。