[发明专利]一种PET柔性功能膜镀膜系统

权利要求书

1.一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，所述PET柔性功能膜镀膜系统包括流体反应源输入管道（3）、镀膜装置（1）、第一配料装置（2）和至少一个流体反应源供应装置（4），所述镀膜装置（1）包括镀膜装置本体（11）、用于将流体反应源引入镀膜装置本体（11）的镀膜装置流体引入管道（12）和用于将流体引出镀膜装置本体（11）的镀膜装置流体引出管道（13），所述第一配料装置（2）包括第一配料装置本体（21）、用于将流体反应源引入第一配料装置本体（21）的第一配料装置流体引入管道（22）和用于将流体引出第一配料装置本体（21）的第一配料装置流体引出管道（23），所述镀膜装置流体引入管道（12）和第一配料装置流体引入管道（22）均与流体反应源输入管道（3）流体连通，所述流体反应源供应装置（4）包括反应源阵列（41）、用于将含有反应源的流体引出反应源阵列（41）的反应源阵列流体引出管道（42），所述反应源阵列流体引出管道（42）与镀膜装置本体（11）流体连通；所述流体反应源包括有三甲基铝、四氯化钛和纯水中的至少一种。

2.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，还包括用于将流体反应源引入镀膜装置本体（11）的副产物清除流体引入管道（5），所述副产物清除流体引入管道（5）上设有流量控制装置，所述副产物清除流体引入管道（5）的流量参照τ=V/F，其中，τ不大于500毫秒，V为镀膜装置本体11的体积，F为副产物清除流体引入管道（5）的流体流量。

3.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，所述第一配料装置流体引入管道（22）和/或第一配料装置流体引出管道（23）上设有流量控制装置，第一配料装置流体引入管道（22）的流量小于副产物清除流体引入管道（5）的流量；

和/或，所述镀膜装置流体引入管道（12）上设有流量控制装置，镀膜装置流体引入管道（12）的流量参照F≤1359.5PФ/T，其中F为镀膜装置流体引入管道（12）中的流体流量，单位为sccm，P代表镀膜装置本体（11）内压强，单位为Torr，T代表镀膜装置本体（11）内的温度，单位为K，Ф代表调控腔（111）入口横截面的周长，单位为厘米，镀膜装置本体（11）内的最大雷诺数为1600。

4.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，所述镀膜装置流体引出管道（13）上设有流量控制装置，镀膜装置流体引出管道（13）的流量不大于镀膜装置流体引入管道（12）的流量；

和/或，至少部分的管道上还设有加热装置。

5.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，还包括第二配料装置（6），所述第二配料装置（6）包括第二配料装置本体（61）、用于将流体引入第二配料装置本体（61）的第二配料装置流体引入管道（62）和用于将流体引出第二配料装置本体（61）的第二配料装置流体引出管道（63），所述第二配料装置本体（61）通过第二流体配料装置流体引入管道（62）与镀膜装置本体（11）流体连通；第二配料装置流体引入管道（62）和/或第二配料装置流体引出管道（63）上设有流量控制装置；和/或，所述第二配料装置（6）的流量与副产物清除流体引入管道（5）的流量相配合。

6.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，镀膜装置本体（11）包括调控腔（111）和反应腔（112），所述调控腔（111）与镀膜装置流体引入管道（12）流体连通，所述调控腔（111）以流体流动方向延伸形成反应腔（112），所述反应腔（112）与镀膜装置流体引出管道（13）流体连通。