[发明专利]气帘装置及光栅尺测量系统

摘要

本发明提供一种气帘装置及光栅尺测量系统，在光栅尺测量系统中的读头周围设置气帘装置，所述气帘装置包括出风口、气体流道、进气管路及气帘支架，所述气帘支架支撑所述气体流道固定在工件台上，气体通过所述进气管路进入所述气体流道结构，经气体流道缓冲后从所述出风口流出，在读头周围形成相对微环境。本发明通过在读头周围设置气帘装置以隔离热源，使光栅尺测量系统中光路区域内的温度波动保持在较小范围内，减少温度波动对读头测量的干扰，提高测量准确性；进一步的，气帘装置可以隔离外部环境和其他气流的干扰，保证光路区域的微环境稳定，使湿度和压力均匀分布，减少对读头测量的影响，保证工件台位置测量的精确性。