[发明专利]气帘装置及光栅尺测量系统在审
| 申请号： | 201910803739.9 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112445072A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张楠 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 光栅尺 测量 系统 | ||
1.一种气帘装置，其特征在于，包括：出风口、气体流道、进气管路及气帘支架，所述气帘支架支撑所述气体流道，所述出风口设置在所述气体流道的一端，所述进气管路设置在所述气体流道异于出风口的一端，气体通过所述进气管路进入所述气体流道，并从所述出风口流出。
2.根据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，所述气体流道包括小孔-狭缝结构。
3.根据权利要求2所述的气帘装置，其特征在于，所述小孔-狭缝结构中小孔相对于狭缝靠近所述进气管路设置。
4.根据权利要求2所述的气帘装置，其特征在于，所述小孔-狭缝结构中小孔的直径大于或等于狭缝宽度的3倍，小孔的长度等于狭缝的长度。
5.根据权利要求4所述的气帘装置，其特征在于，所述出风口包括狭缝出风口和小孔出风口。
6.根据权利要求5所述的气帘装置，其特征在于，所述小孔-狭缝结构中狭缝的宽度等于所述狭缝出风口中狭缝的宽度或所述小孔出风口中小孔的直径。
7.根据权利要求1所述的气帘装置，其特征在于，所述气帘装置还包括：设置在所述出风口的隔栅板，通过所述隔栅板改变出风角度。
8.根据权利要求7所述的气帘装置，其特征在于，所述出风角度为75°～90°。
9.一种光栅尺测量系统，其特征在于，包括：若干如权利要求1-8任一项所述的气帘装置，所述气帘装置围绕读头设置工件台上。
10.根据权利要求9所述的光栅尺测量系统，其特征在于，所述气帘装置的气帘支架设置在工件台的粗动台上，所述气帘装置的读头设置在工件台的微动台上。
11.根据权利要求9所述的光栅尺测量系统，其特征在于，所述气体流道与读头的安全距离为1mm。
12.根据权利要求9所述的光栅尺测量系统，其特征在于，在读头周围设置二层气帘装置，第一层气帘装置的出风角度为85°～90°，第二层气帘装置的出风角度为75°～85°。
13.根据权利要求9所述的光栅尺测量系统，其特征在于，在读头周围设置三层气帘装置，第一层气帘装置的出风角度为85°～90°，第二层气帘装置的出风角度为80°～85°，第三层气帘装置的出风角度为75°～80°。
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