[发明专利]对致动器的操作参数的测量有效
| 申请号： | 201910783091.3 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110857710B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | T·埃雷;R·皮洛斯;U·普罗布斯特;L·洛肯;M·穆勒 | 申请（专利权）人： | 斯泰必鲁斯股份有限公司 |
| 主分类号： | F15B20/00 | 分类号： | F15B20/00;F15B19/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 德国科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于监测致动器(10)的操作参数的方法，其中方法包括：提供致动器(10)，提供至少两个检测单元(26、28、30、32、34、36)，其中检测单元被设计成检测致动器(10)的不同操作参数，经由检测单元(26、28、30、32、34、36)检测致动器(10)的操作参数，将与测量到的操作参数有关的数据输出到评价单元，将测量到的操作参数与状态信息组合，其中状态信息指示致动器(10)的技术状态是否处于预定标准状态。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 操作 参数 测量 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于斯泰必鲁斯股份有限公司，未经斯泰必鲁斯股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910783091.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：量子级联半导体激光器
- 下一篇：基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质
