[发明专利]循环使用的抛光垫在审
| 申请号： | 201910781512.9 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN111482892A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 安峰秀;金八坤;刘永俊;金时亨;金胤镐;文真钰;吴承泽 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;FNS科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/22;B24B37/24;B24B37/20;B24B37/013 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;田野 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种循环使用的抛光垫，所述循环使用的抛光垫包括上层垫和辅助垫。上层垫包括第一表面和与第一表面背对的第二表面。第一表面具有多个第一凹槽，第二表面具有多个第二凹槽。上层垫还包括连接第一凹槽和第二凹槽的连接体。辅助垫与上层垫的第二表面接触。每个第一凹槽的深度小于每个第二凹槽的深度。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 使用 抛光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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