[发明专利]用于制造MEMS传感器的方法在审
| 申请号： | 201910772912.3 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110844877A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | D·豪格;T·弗里德里希;T·亨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造MEMS传感器的方法，包括以下步骤：‑提供在载体层组件的前侧上的功能层，‑制造沟以使功能层和载体层组件的布置在功能层下方的部分在侧面上部分地露出以实现机械应力解耦，‑移除载体层组件的背侧的部分，其中，形成侧面的载体框架，‑构造载体层组件的背侧的在所述移除之后的剩余部分的表面以排出和/或挤出介质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 mems 传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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