[发明专利]一种新型化学液相沉积炉

摘要

本发明提供了一种碳/碳复合材料的致密及生产制备中的新型化学液相沉积炉，包括工作室、冷凝器和炉盖，工作室和冷凝器是两个由若干冷凝管相贯通的腔室；其中工作室中包括前驱体槽、支架、预制体和感应线圈等；预制体在工作室中被局部感应加热，实现液相沉积；所述前驱体槽位于工作室内，且底部与工作室底部不接触；前驱体槽和工作室底部之间充有前驱体，前驱体槽内充有前驱体；本装置采取局部感应加热，使得预制体不受尺寸限制，较传统化学液相沉积炉工作状态而言，新型化学液相沉积炉致密效果可控制，降低了生产成本。新型化学液相沉积炉采用多管螺旋轴式冷凝器，大大提高了前驱体的回收率，在节省成本的同时降低了对环境的污染。

主权项

1.一种新型化学液相沉积炉，其特征在于，包括工作室(2)、冷凝器(10)和炉盖(6)，工作室(2)和冷凝器(10)是两个由若干冷凝管(4)相贯通的腔室；其中工作室(2)中包括前驱体槽(8)、支架(1)、预制体(13)和感应线圈(9)等；预制体(13)在工作室(2)中被局部感应加热，实现液相沉积；所述前驱体槽(8)位于工作室(2)内，且底部与工作室底部不接触；前驱体槽(8)和工作室(2)底部之间充有前驱体，前驱体槽(8)内充有前驱体；待处理预制体(13)通过支架(1)悬空置于前驱体槽(8)内且不与前驱体槽接触，使预制体(13)部分浸在前驱体槽(8)内的前驱体中，支架(1)与待处理预制体(13)之间为滚轮连接，保证待处理预制体(13)能够轴线转动；感应线圈(9)缠绕在前驱体槽(8)和浸在前驱体槽(8)中的部分待处理预制体(13)上，待处理预制体(13)、前驱体槽(8)和感应线圈(9)之间相互不接触，待处理预制体(13)轴线转动时感应线圈(9)不转动；感应线圈(9)对前驱体槽中(8)的部分待处理预制体(13)进行感应加热液相沉积；炉盖(6)上开有尾气排出口(11)，工作室(2)的侧壁上开有通孔作为气体出入口(7)，将工作室内抽真空后开始对待处理预制体(13)进行加工，加工同时向工作室内充入保护气体。