[发明专利]一种高纯铝管溅射靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种高纯铝管溅射靶材的制备方法。其包括材料准备、材料处理、模具安装、加热铝锭、挤压操作、静置冷却、对辊矫直、退火处理和机械加工等步骤。其中，在高纯铝加热和挤压前，采用多向锻造的方法，使得初始的高纯铝晶粒度降低至1000μm以内；同时，采用较低的加热温度和挤压温度以及挤压速度，有效地避免了高纯铝发生再结晶，产生不利的晶粒变大现象。本发明工艺简单，方便快捷，效率较高，能够较为容易地使高纯铝晶粒度达到150μm以内。

主权项

1.一种高纯铝管溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n1)材料准备：准备挤压模具和高纯铝锭圆柱体，该高纯铝锭圆柱体的纯度在99.999％以上；/n2)材料处理：使用多向锻造的方法，使得该高纯铝锭圆柱体的晶粒度达到1000μm内，后在该高纯铝锭圆柱体内镗出内孔；/n3)模具安装：在进行挤压操作前将挤压模具安装在挤压机内；/n4)加热铝锭：将该高纯铝锭圆柱体于160～200℃加热0.5小时，快速加热使其热透；/n5)挤压操作：将加热后的高纯铝锭圆柱体直接通过运输轨道进入挤压机中，设定挤压温度为160～200℃，控制挤压速度为0.2～1.0mm/s，在挤压机和挤压模具的共同作用下，该高纯铝锭圆柱体从出口处缓慢挤出；/n6)静置冷却：待高纯铝锭圆柱体全部挤压完成后在冷却区静置冷却至常温，得到模具尺寸的半成品铝管，变形比大于8；/n7)退火处理：将冷却后的半成品铝管于100～200℃进行60min的退火处理；/n8)机械加工：完全冷却后，根据图纸对半成品铝管进行机械加工即得成品铝管。/n