[发明专利]一种高纯铝管溅射靶材的制备方法

权利要求书

1.一种高纯铝管溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)材料准备：准备挤压模具和高纯铝锭圆柱体，该高纯铝锭圆柱体的纯度在99.999％以上；

2)材料处理：使用多向锻造的方法，使得该高纯铝锭圆柱体的晶粒度达到1000μm内，后在该高纯铝锭圆柱体内镗出内孔；

3)模具安装：在进行挤压操作前将挤压模具安装在挤压机内；

4)加热铝锭：将该高纯铝锭圆柱体于160～200℃加热0.5小时，快速加热使其热透；

5)挤压操作：将加热后的高纯铝锭圆柱体直接通过运输轨道进入挤压机中，设定挤压温度为160～200℃，控制挤压速度为0.2～1.0mm/s，在挤压机和挤压模具的共同作用下，该高纯铝锭圆柱体从出口处缓慢挤出；

6)静置冷却：待高纯铝锭圆柱体全部挤压完成后在冷却区静置冷却至常温，得到模具尺寸的半成品铝管，变形比大于8；

7)退火处理：将冷却后的半成品铝管于100～200℃进行60min的退火处理；

8)机械加工：完全冷却后，根据图纸对半成品铝管进行机械加工即得成品铝管。

2.根据权利要求1所述的高纯铝管溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述多向锻造的方法包括：首先将准备好的一定直径和高度的高纯铝锭圆柱体，在200℃中频加热炉中快速加热；然后轴向镦粗；后再轴向拔细，如此反复三次；最后滚圆、拉拔至具有所需的直径和高度的高纯铝锭圆柱体。

3.根据权利要求2所述的高纯铝管溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述多向锻造的步骤包括：首先将准备好的直径455mm、长700mm的高纯铝锭圆柱体，在200℃中频加热炉中快速加热；然后轴向镦粗至高度300mm，后轴向拔细至直径420mm尽长，如此反复三次；最后滚圆、拉拔至直径407mm、长860mm的高纯铝锭圆柱体。

4.根据权利要求3所述的高纯铝管溅射靶材的制备方法，其特征在于，具体的步骤包括：使用通过多向锻造后的纯度为99.999％、直径407mm、长860mm的高纯铝锭圆柱体作为原材料，中间镗直径162mm的内孔，将其置于160～200℃中频加热炉中加热0.5小时；加热后的高纯铝锭圆柱体直接通过运输轨道进入5500T双动正向挤压机中，控制挤压温度为160～200℃，挤压速度为0.2～1.0mm/s，在5500T双动正向挤压机和挤压模具的共同作用下，高纯铝锭圆柱体从5500T双动正向挤压机出口处缓慢挤出；待高纯铝锭圆柱体全部挤压完成后静置冷却5小时至常温，得到内径125mm、外径172mm、壁厚23.5mm、长2835mm的半成品铝管，经测量计算总变形比大于8；将冷却后的半成品铝管于100～200℃进行60min的退火处理，细化晶粒，改善组织；最后根据图纸对半成品铝管进行机械加工即得成品铝管。